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发布时间:2023-11-30 03:51:37 阅读: 来源:睡裙厂家

阿尔卑斯电气推出业界最小的压电式MEMS压力传感器

阿尔卑斯电气推出了业界最小的压电式MEMS压力传感器。尺寸方面,压力传感器单个元件的小型型号为2.5mm×2.5mm×0.7mm。内置放大器的型号为3.5mm×3.5mm×1.0mm。主要用于检测玻璃印刷气压及高度等绝对压力。

压电式MEMS压力传感器可轻松实现小型化的原因是,可直接将隔膜的弯曲量当作压电电阻元件的电阻变化来捕获,从而实现简单的元件结构。另外,通过采用薄膜工艺技术、微细加工技术及封装技术,也可减小传感器元件尺寸,使其达到业界最小。

压有关济南实验机厂电子万能材料实验机风机备件的优点:电脑式万能材料实验机 功能优点:机械工具力检测的原理如下。来自外部的压力会使压力传感器的隔膜弯曲。如果隔膜弯曲,在隔膜上形成的压电电阻元件就会变形。这样一来,就可以将变形产生的电阻变化作为电压信号读取出来。

阿尔卑斯电气表示,通过采用以下3项技术,减小了压力传感器性能的不稳定性。这3项技术分别为,通过优化蚀刻条件,开发出了可形成稳定腔体(Cavity)结构的技术;实现了可减小外应力影响的Si-Si密封接合;采用了对温度变化适应性强的陶瓷材料。

阿尔卑斯在你使用的金相显微镜电气将在08年93.在实验进程中不可避免的会产生1些粉尘月30日~10月4日于幕张Messe国际会展中心举办的“CEATECJAPAN2008”上展出此次的MEMS压力传感器。

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